無油渦旋真空泵的特點與應(yīng)用領(lǐng)域

    清潔的真空環(huán)境一直是科學家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始，人們就試圖采用不同的手段達到清潔真空的效果。時至今日，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱塞泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當中，無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點并已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到下述科學研究與生產(chǎn)領(lǐng)域：1半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；2真空冶金行業(yè)——真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢漏設(shè)備；3科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；4醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機；6生物制品行業(yè)——材料提純、藥品制備；7包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

無油渦旋真空泵工作原理、技術(shù)指標以及與普通油泵的對比

    無油渦旋真空泵的渦旋盤是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空泵的基本抽氣機構(gòu)。例如在雙級無油渦旋真空泵中，有兩個方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。

    眾所周知，無油渦旋真空泵(Oil free scroll vacuum pump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點。

無油渦旋真空泵的優(yōu)點及其能給用戶解決的問題
無油渦旋真空泵性能優(yōu)越

    渦旋真空泵的主要優(yōu)點是間隙小、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小，振動噪音低，可靠性高。這是其他類型的干式真空泵所不具備的。

 無油渦旋真空泵解決了污染與震動等基礎(chǔ)、共性問題

    由于普通旋片油泵的漏油、噪音、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20~40Pa真空條件下鍍膜時，如果應(yīng)用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵要將對鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體晶片制造工藝中使用油泵與使用干泵相比，成品率存在50%左右的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染?？茖W儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對測試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外渦旋無油真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱。

 無油渦旋真空泵使系統(tǒng)制造與運行成本降低

    為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運行過程當中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油。采用渦旋無油真空泵第一不需要加冷阱之類捕油機構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動更小、運行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制，上述優(yōu)點使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。