真空泵開始工作后，一般需要一定的時間才能逐步使工作容器的真空度到達(dá)泵的標(biāo)稱真空度。如果上升過快，一般是因為工作真空容器容積小，或者介質(zhì)氣體流量遠(yuǎn)大于需要的流量。

      正常情況下，當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值時，真空容器的壓力就會被壓力傳感器感應(yīng)到，然后壓力傳感器是把信號給控制模塊，由控制模塊判斷壓力是不是達(dá)到設(shè)定值了，如果達(dá)到了控制模塊就讓泵停止工作，而壓力傳感器到泵停止的動作都是需要時間的，這段時間內(nèi)，真空度就足以上升幾個千帕。真空容器的容積小，相應(yīng)的真空度上升就會很快，如果同時流量大，就可能出現(xiàn)真空度迅速上升甚至超過設(shè)定值的情況。比如說您設(shè)定的真空度是-20kpa，結(jié)果啟動泵后真空度在停機前就迅速升至-25kpa超出了設(shè)定范圍，這不是故障問題，解決的辦法包括：1、增加流量調(diào)節(jié)閥將流量調(diào)小；2、采用調(diào)速真空泵，降低轉(zhuǎn)速，減少流量；3、換用流量較小的型號。