在真空技術(shù)應(yīng)用中，電真空器件包含的內(nèi)容比較廣泛。除氣也是是電真空器件制造過程中關(guān)鍵工序之一。那如果除氣不徹底對電真空器件的性能會有什么影響呢，螺桿真空泵廠家與大家一起來了解下。

    電子真空工業(yè)涉及的電真空器件主要有各種電子管、離子管、電子束管、電光源管以及中子管、電子衍射儀、電子顯微鏡、X光顯微鏡等，此外還涉及各種粒子加速器、質(zhì)譜儀、核輻射譜儀、氣體激光器等等。另外像利用真空中的電子束進行除氣、熔煉、提純、難熔金屬介質(zhì)的熔化和鉆孔以及焊接、放射性同位素的蒸發(fā)等這些方面也涉及電真空器件。

    電真空器件工作時本身是一個較為復(fù)雜的物理-化學(xué)系統(tǒng)，在它里面可能同時進行著許多物理、化學(xué)過程，像吸附和脫附、擴散與遷移、化合與分解等等，這些過程的進行方式與程度和除氣結(jié)果關(guān)系很大。如果除氣不徹底，對器件性能的影響主要涉及下述幾個方面：

    首先是如果除氣不徹底，那殘余的氣體中的一些成分可能會與電真空器件中陰極發(fā)生有害的化學(xué)反應(yīng)，損害陰極的發(fā)射能力。

    其次是電真空器件若除氣不徹底，使用中殘余氣體電離形成大量的正離子使空間的電子電荷部分中和，造成電位分布畸變，影響電真空器件器件的特性。如使柵流增高、噪聲增大等。另外正離子在電場的作用下飛向低電位電極（特別是陰極），使電極表面產(chǎn)生濺射，濺射物又沉積到其他電極和絕緣體上，可能引起漏電、打火、二次發(fā)射等現(xiàn)象。

    第三就是殘余氣體會加快電真空器件內(nèi)的物質(zhì)遷移過程。具體的，有實驗表明如電真空器件內(nèi)含侵蝕性氣體（SO2、Cl2、O2等）且由他里較高時，一些金屬（如Cu）在低溫下會迅速蒸發(fā)。

    為避免上述情況的出現(xiàn)，電真空器件在除氣過程中還要綜合考慮器件材料的理化與真空性能，以及真空中的物質(zhì)遷移過程，陰極、消氣劑與各種氣體的相互作用，另外還需要正確選擇與使用真空排氣系統(tǒng)。

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