干式真空泵使工作容積中無油，因而帶來了不少好處。首先，它加強了泵的牢靠性。干式泵不像油密封泵那樣遭到水蒸氣或者塵粒的影響，因而它們更耐用，所需的維護工作更少。減少用油量還意味著減少了認真處置油而破費的本錢。運用干式真空泵還使可能的污染減到較小水平，這種污染既可能呈現(xiàn)在油里——影響了泵的性能，也可能呈現(xiàn)在某些極端的狀況下 

　　目前，真空行業(yè)運用的大多數(shù)干式真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充任泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、光滑等多種作用。隨著科學技術(shù)的開展以及真空應(yīng)用范疇的擴展，原有的干式真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)呈現(xiàn)了兩個急需處理問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多狀況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護本錢。其次，由于某些工藝過程中的反響物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重蛻變，使泵不能正常工作。

　　關(guān)于普通的無油真空系統(tǒng)來說，固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來避免返流，但不能徹底處理問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而運用恰當型式的干式真空泵，則能夠到達理想的運用效果。

　　干式真空泵的應(yīng)用是普遍的，主要有以下幾個方面：

　　1)低壓化學氣相堆積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導體刻蝕工藝。在這些消費工藝中常常用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵能夠滿足請求；

　　4)用做普通無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以避免油污染；

　　5)在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食　品工業(yè)中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等，要避免有機溶劑形成污染，合適用干式真空泵。